超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備應(yīng)用場景得到再一次大幅拓展超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備,將有效推動我國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)產(chǎn)業(yè)超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備的技術(shù)提升和研發(fā)水平,為我國新材。
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